隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，粉末冶金過程和金屬材料熱處理中廣泛使用真空爐。真空爐的種類很多：

(1)按用途可分為真空碳化爐、真空燒結(jié)爐、真空退火爐、真空淬火爐、真空回火爐以及真空滲碳爐等。

(2)按熱源可分為電阻加熱真空爐、感應(yīng)加熱真空爐、電弧加熱真空爐、等離子弧加熱真空爐和電子束加熱真空爐。

(3)按真空度可分為低真空爐、高真空爐和超真空爐。

(4)按工作溫度可分為低溫真空爐(低于700℃)、中溫真空爐(700?1000℃)和高溫真空爐(1000℃以上)。

(5)按作業(yè)性質(zhì)可分為周期式真空爐和連續(xù)式真空爐。

(6)按爐子的形式可分為豎式真空爐和臥式真空爐。

從真空爐的結(jié)構(gòu)和加熱方式的角度上可以歸納為兩大類：一類是外熱式真空爐，另一類是內(nèi)熱式真空爐，兩者均以真空電阻爐為主。外熱式真空爐通常稱為熱壁爐，也稱為馬弗爐。這種爐子的加熱部分與隔熱部分，即電熱元件和隔熱層設(shè)置在真空室外面，工件放在真空室的內(nèi)部，工件依靠間接加熱。真空退火爐往往是外熱式真空熱處理爐。內(nèi)熱式真空爐通常稱為冷壁爐。這種爐子的電熱元件和隔熱層構(gòu)成的加熱室，全部放在水冷夾層結(jié)構(gòu)的真空爐殼內(nèi)。內(nèi)熱式真空爐與外熱式真空爐相比，構(gòu)造復(fù)雜，但使用溫度高、熱效率高、生產(chǎn)率也高，可以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。因此，內(nèi)熱式真空爐得到了迅速發(fā)展，已成為真空燒結(jié)和真空退火、真空淬火、真空回火的主要用爐。